| 主要特点 | • 采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 • 可短时间内彻底清洗掉有机污染物。 • 清洗程度可达到分子级。 • 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 • 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。 • 样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。 • 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。 |
| 参数 | • 电压：AC220V 10A • 消耗功率：<500W（包括真空泵） • RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz • 腔体：Φ190mm×98mm • 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm • 内腔：Φ165mm×55mm • 清洗电极：Φ120mm • 样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm • 样品台与电极间距：15mm-50mm可调 • 抽气管：Φ12mm • 极限真空度：0.1Pa • 工作真空度：60Pa-500Pa • 气路数量：2路（选装） • 流量控制器数量：1、2 • 流量显示仪：2通道 • 气路接口：Φ6mm • 加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） • 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa • 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m |
| 产品规格 | • 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） • 重量：20kg（不含真空泵） |
| 可选配置 | • 加热样品台 • 流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2个通道） |
查看诚信档案
皖公网安备 34012302000974号
