| 设备名称 | 3L数控等离子清洗机(配真空泵,6"x6.5"石英腔室)-PCE-6 （2019.11.1-科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 设备特点 | 拥有6英寸清洗腔室，可清洗约5英寸直径的基片。 ·通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、清洗时间如图一。 真空泵的开闭如图二。 ·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。 ·设有一个三通阀，可大体控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口。 ·选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
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| 主要参数 | 输入功率：AC 220V，50/60 Hz， 真空泵：<500W 总功率：<600W 射频功率：射频功率（施加在线圈上的高压和高频电流）可以在三个级别上调节：低设置7.2W；中设置10.2W; 高设定29.6W 射频频率：3MHz，功率3档可手动调节 真空泵：120L/min，直连式双旋真空泵 极限真空度：50mtorr
更多参数请联系科晶销售部 |
| 机体结构 | ·高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗 ·带观察窗的铰链式门，便于样品加载和观察
控制面板：控制功能：清洁时间，射频功率，真空泵。 |
| 惰性气体 | ·通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） ·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体 |
| 清洗及蚀刻 |
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| 外形尺寸 | ·400mm×300mm×300mm
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| 净重 | 10.2kg |
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
科晶应用技术实验室用此设备清洗基片，清除表面污染物，以供参考。
清洗前向基片上滴入0.05ml水滴，其结果如图所示。通入氩气清洗十分钟后，向基片上滴入0.05ml水滴，其结果如图所示。 | ||
石英 |
图1 清洗前 |
图2 清洗后 |
硅片 |
图3 清洗前 |
图4 清洗后 |
警示 | 1、正压会损坏等离子石英室。 2、清洗机工作时禁止拆开上盖，并关闭清洗腔门。 3、严禁堵塞后部和下部通风口。损坏电源。 4、电子管需预热。否则会损坏电子管寿命，甚至损坏电源。 5、不建议通入腐蚀性气体。 |
·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合，如图一。
·您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片，如图二。
·您可选配双极旋片式真空泵进行抽真空，如图三
图一 图二 图三
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皖公网安备 34012302000974号
