| 主要参数 | ·最大射频功率: 100 W ·真空泵功率: < 500W ·总功率: < 600W ·电源：AC 220V , 50Hz |
| 射频电源 | ·射频功率可在 0 - 100W之间调节 ·频率: 13.56 MHz ·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验 |
| 等离子腔体 | ·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 ·铝制折叠式法兰来进行真空密封 ·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 ·此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏 |
| 控制面板 | ·通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. ·仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量 |
| 真空泵（选配） | ·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵 ·极限真空度为50mTorr |
| 通入气体 | ·等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） ·不能使用易燃气体及腐蚀性气体。 |
| 可选 | ·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 ·可选购2-4通道质子或浮子混气系统
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| 外形尺寸 | ·620 L ×600 W ×600 H, mm |
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
| 相关应用 | ·请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率 ·对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间 ·对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间 ·可根据要求提供300W高功率射频电源 |
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皖公网安备 34012302000974号
