| 名称 | 防腐型3路浮子混气系统GSL-3F-SS-PTFE |
| 浮子流量计 | 三个由聚四氟乙烯制作的浮子流量计 ·A：10 - 100mL/min ·B：16 - 160mL/min ·C：25 - 250mL/min
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| 针阀 | 三个由聚四氟乙烯材料制成的针阀，用来控制前面板 上的气体输入、输出。
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| 混气罐 | ·一个1000ml的聚四氟乙烯罐安装在壳体内部 ·每路气体可通入混气罐中进行混气
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| 接头和气管 | ·聚四氟乙烯管，并可兼容1/4英寸管（尼龙或不锈钢） ·在混气系统右侧安装三个气体进口 ·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管（请参考说明书， 也可另行定制，详情请咨询销售） ·两个出口（可连接科晶管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体） ·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
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| 真空针阀 | ·采用ss304不锈钢 ·安装在混气系统的右侧 |
| 安装带刹车的转向轮 | 外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H |
| 可选 | 如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体，如硫化氢，您可选购我公司聚四氟乙烯法兰
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| 净重 | 约75 Kg |
| 质保期 | 一年保修， 终身技术支持。
2.因使用腐 蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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