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1200℃单温区三通道混气CVD系统
型号:
OTF-1200X-80-I-F3LV
产品概述:
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
高温炉壳体

· 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃

内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度


功率

 2.5 KW


电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 


加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)


最高工作温度

  1200


连续工作温度

1100


最快升温速率

 ≤20 


炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 


加热区长度

400 mm


控温系统

· PID30段程序化控温  

控温仪表操作视频


控温精度

+/- 1 


真空密封系统

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min

    blob.png


真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。


防腐型真空计

· 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

blob.png

混气系统

· 三个浮子流量计

· 三路浮子量程分别为

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

内部安装有一混气罐 


尺寸

· 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm

混气系统尺寸: 600x600x597 mm


尺寸

· 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm

混气系统尺寸: 600x600x597 mm


净重

60kg


开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
          


运输重量

200


质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

   CE Certificate 


使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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