防腐型供气系统(100 -1000 mL/min)
型号:
EQ-CGM-3F-PTFE
产品概述:
EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混气系统,可以与管式炉一起放在小通风柜中。其中与气体接触的部件均由聚四氟乙烯制成(例如阀门、管道、混合罐和流量计),用于输送腐蚀性气体,例如用于 CVD 处理的硫化氢 (H2S) 和硒化氢 (H2Se)。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
流量计

·三个由聚四氟乙烯制成的防腐气体流量计,流速为100-1000 mL/min(0.1-1.0 L/min);

·一个机械压力表(混合罐):0-0.05 MPa


阀门

·前面板有三个聚四氟乙烯针阀,用于控制气体出口

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储气罐

·500 mL聚四氟乙烯储气罐;

·内置气体混合罐,可更好的混合气体


管道配件

·由聚四氟乙烯制成的管道配件,可兼容φ6.35mm的管道(尼龙或不锈钢);

·有三个气体入口,每个通道都有独立的气体流量计;

·12”长1/4”直径的聚四氟管

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尺寸

·外形尺寸:340Lx300Dx180H,mm


重量

·7.25kg


质保期

·一年


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应用提示

·如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体,如硫化氢,您可选购我公司聚四氟乙烯法兰


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