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防腐型供气系统(100 -1000 mL/min)
- 型号:
- EQ-CGM-3F-PTFE
- 产品概述:
- EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混气系统,可以与管式炉一起放在小通风柜中。其中与气体接触的部件均由聚四氟乙烯制成(例如阀门、管道、混合罐和流量计),用于输送腐蚀性气体,例如用于 CVD 处理的硫化氢 (H2S) 和硒化氢 (H2Se)。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
流量计
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·三个由聚四氟乙烯制成的防腐气体流量计,流速为100-1000 mL/min(0.1-1.0 L/min); ·一个机械压力表(混合罐):0-0.05 MPa
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阀门
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·前面板有三个聚四氟乙烯针阀,用于控制气体出口
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储气罐
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·500 mL聚四氟乙烯储气罐; ·内置气体混合罐,可更好的混合气体
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管道配件
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·由聚四氟乙烯制成的管道配件,可兼容φ6.35mm的管道(尼龙或不锈钢); ·有三个气体入口,每个通道都有独立的气体流量计; ·12”长1/4”直径的聚四氟管 |
尺寸
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·外形尺寸:340Lx300Dx180H,mm
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重量
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·7.25kg
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质保期
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·一年
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相关产品
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CVD&PECVD 供液系统
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应用提示
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·如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体,如硫化氢,您可选购我公司聚四氟乙烯法兰
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