四电弧单晶生长系统(4电弧熔样品,3000℃,可转动水冷铜坩埚)
型号:
SKJ-ARC-CZ
产品概述:
SKJ-ARC-CZ 是一款单晶生长炉,4个电弧熔炼腔安装在真空腔体上,一个旋转提拉机构安装在设备上。此款单晶生长炉用于熔点特别高的材料进行单晶生长,设备对样品熔炼温度可达3000℃
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电源要求

·输入电压:220 VAC , 单相

·功率:16KW.

·直流输出:   

  4个熔炼电弧枪

  每个电弧枪的电源输出 15 V / 185 A ,35%占空比 

·脉冲 DC 和AC 输出模式可选

·4个电弧枪,每个电弧枪需要40A的空气开关

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提拉机构

·提拉机构采用精密伺服电机驱动

·提拉速度: 0.1-10 mm/hr

·提拉杆转速: 0.1-23 rpm

·提拉行程: 0-300mm

·快速提拉模式 35mm/min


电弧枪(氩弧枪)

·4个氩弧枪安装在真空腔体上

·每个电弧枪上安装有直径Φ4mm的钨针,带有水冷套

·钨针与水冷铜坩埚的距离和角度可调节

·熔炼量最大可达300g(按Fe的密度)


真空度

·不锈钢真空腔体,可抽真空排气和通入惰性气体

·安装有数字防腐型真空计(传感器上涂有陶瓷涂层),测量范围:10 ^-5 ~ 1000 torr

·真空度: 5x 10-5 torr (分子泵系统))  5 × 10-2 Torr (机械泵)

·可在本公司选购各种真空泵

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坩埚

·水冷铜坩埚:直径100 mm ×深度15 mm

·最大熔炼量约300个(按Fe密度)

·坩埚可转动:1~20rpm(保证熔炼均匀性)


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循环水冷机(可选)

·需要冷却水对电源,电弧枪,真空腔体和铜坩埚进行冷却

·本公司建议选购水冷机KJ-6300

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设备尺寸

·2000L×1000W×2050H(mm)


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