| 名称型号 | ·2100℃上称重CZ晶体生长炉 SKJ-50CZ |
| 特点 | ·采用高精度上称重模式CZ晶体生长 ·配有中频/高频电源，可以真空感应熔炼和磁悬浮真空熔炼炉两用， ·真空度最高5.0*10-3pa ·配有自动控制和预设工艺的软件系统
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| 基本参数 | ·电源电压：三相 AC380 50/60Hz ·总功率：80KW ·最高熔炼温度:2100D℃ ·中频电源功率：35KVA,电源频率：1-20KHZ, 输出电流：10-70A 输出电压：70-550V ·高频电源功率：30KVA,电源频率：20-200KHZ,输出电流：7-70A
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| 真空腔体 | ·采用SS304不锈钢腔体双层水冷腔体，确保设备工作室表面温度≤70℃ ·腔体尺寸:Ф500*700mmH ·腔门上有一个80*300mm的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况 ·腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa的机械压力表用于观察腔室内压力情况 ·预留G1/4进气口，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断 ·预留G1/4出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断 ·安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压，确保腔体的安全 ·装有摄像头，用于摄录晶体生长过程 ·装有红外测温仪，用于测量坩埚内物料温度 |
| 提拉机构 | ·采用伺服电机+谐波减速器来提拉籽晶杆 ·采用高精度直线模组可以防止晶体生长提拉过程中卡顿 ·体移动有慢速提拉和快速移动两种模式 ·提拉行程：200mm ·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可调，精度+/-1um) ·籽晶杆旋转速度：1-60 rpm ·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围
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| 上称重系统 | ·设备标配一套上称重系统，可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。 ·秤量程：5KG ·称精度：0.1g
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| 控制系统 | ·整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的 labview 软件进行控制，可以实现以下功能： ·生长斜率及控制参数设定； ·控制晶升，动态可调 ·控制晶转，可设定多段速自动执行 ·检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制 ·腔体真空和压力检测 ·报警监测，晶升晶转中频气压及称量程等上限报警 ·实时数据曲线，晶体生长图例模拟 ·数据记录，自动存储运行数据
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| 坩埚系统 | ·坩埚组件可以选配：铱坩埚，钨坩埚,BN坩埚，刚玉坩埚，Ta坩埚，石墨等 ·坩埚尺寸：外径100mm,壁厚3mm,高80mm,坩埚外部采用石英砂作为保温材料，最外层通过一个石英管进行固定。（注：坩埚尺寸可以依据要求定制） ·此单晶炉常规可生长晶体尺寸为≤Ф2”*高度100mm （如需要大尺寸单晶生长，可联系我司） ·注：晶体生长尺寸不仅和提拉行程有关系，还和温度、坩埚大小、保温组件，线圈大小等因素相关，
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| UPS电源 | ·系统配置一套 UPS 电源，用于紧急断电情况下，对整个控制系统进行不间断供电 • 额定功率：5 KVA • 输入电源电压：AC 220V • 输入频率：40-70HZ • 输出电压：AC 220V • 输出频率：50/60 HZ • 功率因数：99.9%（满载）
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| 红外测温系统 | ·测温范围：100℃—3000℃ ·测温精度：±1% FS ·重复精度：±0.5% FS ·距离系数: 400:1 ·响应时间(95%)： ≤50 ms ·发射率：0.10~1.00 可调 步长：0.01 ·模拟输出：4---20mA ·工作电压：24VDC ± 20% ·目视瞄准，可见光斑指示 |
| 水冷系统 | ·系统配置两套水冷设备，一套给感应电源和腔体水冷，一套给磁悬浮熔炼坩埚水冷。 ·感应电源和腔体水冷设备技术参数： ·工作电流：8.4-34.6A ·制冷量：49474Btu/h ·最大流量：117L/min ·水箱容量：75L 磁悬浮熔炼坩埚水冷设备技术参数： ·工作电流：2.3-13A ·制冷量：17510Btu/h ·水箱容量：15L ·出入水口： 4 分内牙接口 ·最大流量:70L/min
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| 真空系统 | 机械泵参数 ·型号：VRD-48 ·抽气口接口尺寸：KF40 ·抽气速率：（48m3/h）13.3L/S ·电机功率：1500 W ·极限压强4*10-2 Pa 分子泵参数 ·抽气速率：700L/s ·极限压强：6×10-6 Pa ·气动时间≤9min ·额定转速：3600rpm/min 冷却方式 ·抽气口接口尺寸：CF160 |
| 产品尺寸和重量 | ·炉体尺寸长宽高：1250*1150*2700mm ·电气柜尺寸长宽高：565*800*1740mm ·中频电源控制柜尺寸：700*400*835mm ·高频电源+中频电源本体尺寸长宽高：1320*820835mm ·UPS电源尺寸长宽高：780*450*600 ·重量：1.5吨
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| 认证 | ·通过CE认证 ·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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| 质保 | ·质保一年，终生维护（不包括，炉膛和加热元件） |
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皖公网安备 34012302000974号
