| 产品特点 | ·清洗面积较大，大达300×300mm ·样品仓门自动开关 ·可移除基片表面各种污染物 ·样品台可加热，最高温度150℃ ·触摸屏控制面板，可设置和现实各种参数 |
| 电源要求 | ·AC220V，50/60Hz ·总功率：950W |
| UV灯 | ·设备中包含一台双波长汞灯 ·波长：253.7nm和184.9nm ·UV灯使用寿命：5000小时 ·UV灯罩区域：300×350mm ·可清洗基片最大尺寸为12英寸，35mm厚度 ·UV灯单独包装，防止运输中损坏 ·UV灯不在质保范围内
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| 腔体&样品台 | ·不锈钢壳体 ·自动滑动抽屉样品仓 ·样品台面积450×450mm ·最大样品厚度：40mm ·一个臭氧排除装置安装在腔体中 ·时间设置范围：0.01秒~99.9小时 |
| 加热型样品台 | ·加热台最高温度可达150℃，程序控温 ·可设置30段温度段，控温精度±2℃ ·最大加热速率：15℃/min ·样品台和UV灯关之间的距离可调节：20~40mm ·可选加热温度达到300℃，控温精度±0.1mm |
| 排气口 | ·一个直径为75mm的排气口在设备后部 ·配有3米的柔性排气管道
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| 质保 | ·一年质保期，终身维护 ·UV灯管不在质保范围内 |
| 应用 | ·清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃 ·清洗各种氧化物单晶片，如蓝宝石，STO和LAO ·清洗Au和Pt基片 ·轻金属材料表面氧化 ·活化聚合物材料 ·UV去除光刻胶 ·UV清洗LED显示屏 |
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皖公网安备 34012302000974号
