产品特点 | ·500 ~ 10000 RPM 旋转速度(程序控制) ·PP材质防护罩,具有抗腐蚀性 ·适用基片尺寸Φ5mm-130mm ·上罩顶部有一个进气口,可在旋涂时通入气体 ·配有一个20ml的塑料注射器 ·可在Ar环境下的手套箱内使用(真空泵必须放置在手套箱外) |
涂布腔体 | ·PP腔体具有抗腐蚀性 ·腔体尺寸: 直径150 mm ·一系列PTFE真空吸盘(Φ40mm和Φ10mm) |
真空泵 | ·配有一台抽速为120L/min的无油真空泵,和直径Φ8mm的真空管 |
程序控制 | ·可储存12条运行程序,每套程序可设置6段步骤 ·转速:500 rpm - 10000 rpm (程序设定) ·每个步骤最长持续时间60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec (可调) ·精度: < 5% |
输入电源 | ·电压:AC 220V ·总功率:1000 W ·旋转电机:24VDC 高速电机 |
进气口 | ·一个直径为Φ6mm进气口,在PTFE涂布腔顶部,客户通入气体,可在流动气氛环境下涂布样品 |
注液器 | ·标配:20ml塑料注液器(图1) ·可选1:精密数显电动注液器20-200ul(图2) ·可选2:加热型玻璃注液器,最高温度200℃(图3) 图1 图2 图3 |
可选 | ·可选1:PE加热罩,带有PID温度控制器,最高温度120℃(<10分钟)(图1) ·可选2:PTFE加热罩+Φ10mm PTFE真空吸盘,最高加热温度200℃(<10分钟)(图2) ·可选3:UV LED 365nm波长,可用于旋涂材料固化和聚合 (图3) 图1 图2 图3 |
产品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
质保 | ·一年质保期,终身维护 |
应用注意事项 | ·设备运转必须放在通风柜中,排除废气(图1) ·薄膜的质量根据浆料粘度,转速和喷雾等参数,需要用户自己探索比较好的工艺 ·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘,否则液体会漏入到电机,损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。 ·为了进一步优化涂布质量,可用等离子体清洗极片后再涂布,可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪(图2&3) 图1 图2 图3 |