| 电源 | 1000W 220V/AC |
| 特点 | 1.可原位实时观察样品 2.兼具CVD/PVD功能 3.采用双陶瓷板样品台加热 4.两温区独立控温 |
| 炉体结构 | · 特制石英管：外径 30 x 内径 25 x 长370（mm）， 一个直径 12 mm 的扁平高透光率窗口焊接在管子上，用于原位观察薄膜生长 · 真空密封法兰：包括电极、热电偶、带 KF 25 真空端口的气体入口和出口的馈通件 · 微加热板：两个 W17 x L 25 mm 的陶瓷涂层加热板从两端插入加工管中。左侧加热板可调。 · 最高加热温度：1100℃，最大升温速率：5℃/S · 法兰支架高度可调
|
| 温度控制 | · 两个具有 50 段可编程的温度控制器，用于独立控制两个加热板 · 内置PID自动调谐功能 · 具有热电偶过热保护与损坏报警功能 · ±1℃温度精度 · 两个K型热电偶（每个区域一个）
|
| 可选配件 | · 耐腐蚀数字真空计 · 双级旋片真空泵 · 可选质量流量控制器（0-2L/min） |
| 尺寸 |
|
| 保修 | · 一年保修，提供提升时间支持（炉管和O形圈等耗材不在保修范围内） |
| 笔记本电脑，软件和WIFI控制（可选） | · 可配备电脑进行控制 · 基于Labview的自研温度控制系统 （EQ-MTS01） 。使用户能够编辑，记录，储存温度曲线等数据
|
| 认证 | · CE认证 · UL,NRTL或CSA认证需额外收费 |
查看诚信档案
皖公网安备 34012302000974号
