| 名称型号 | 12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉 RTP-Ⅱ-CSS-300 |
| 产品特点 | · 载样台最大尺寸Ф300 · 上端载样台可以旋转和上下移动 · 采用分子泵，炉腔体真空度可达10-3Pa |
| 加热炉系统 | · 输入电源 AC 三相380V 50/60HZ，最大功率：64KW · 最高工作温度：950℃（＜30min)，长期工作温度：900℃ · 热电偶两根：两根K型热电偶，一根用于测控上加热台，一根用于测控下加热台 · 加热元件：红外灯管 · 可以载样品最大尺寸：Ф300mm · 推荐升温速率：10℃/S
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| 温度控制 | · 包含一款EPC300系列欧陆温度控制器 · PID自动控温系统 · 智能化30段可编程控制 · 默认DB9 PC通讯连接端口 · 控温精度：±0.1℃（最高可达） 所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试 ·可选购电脑温度控制软件用于控制升温曲线和导出数据； |
| 加热炉腔体 | ·炉腔体尺寸：内径500mm*高460mm ·炉腔体密封：密封采用O型圈+法兰压紧密封 ·观察窗口：炉腔体上留有直径60mm石英观察窗口 ·炉腔体连接有磁耦合真空推送器，推送器前端连接有氮化铝挡板，在高真空状态下或气氛下可以对蒸镀源进行遮挡。 ·炉腔体另一侧连接有高真空电动插板阀+机械泵+分子泵 ·炉腔体真空度：最高可达10-3Pa
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| 不锈钢密封法兰系统+加热平台 | ·不锈钢密封法兰，法兰和加热炉腔之间采用硅胶O型圈压紧方式密封。 ·上法兰开启和关闭才用电动方式，由两个同步升降立柱执行，用PC机进行控制 ·上法兰装有机械压力表和数显真空计，留有G1/4出气口,KF25真空电极接口 ·上法兰连接有压缩波纹管上加热台可以在真空或气氛下上下移动,调节上下加热台距离，调节上下加热区的温差，上加热台移动移动范围：0-25mm ·上法兰连接有磁流体+电滑环+水滑环进行动密封，上加热台通过步进电机进行旋转，旋转速度可调范围：1-10r/min ·下法兰留有KF25真空电极接口和G1/4进气口 ·上下加热平台采用圆形需要水冷，两组红外灯管在加热平台内呈井字型排列，使加热温场更加均匀。 ·样品支架分别安装在上下加热台上。
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| 控制系统 | ·控制系统采用PC机+PLC控制 ·可以设定上加热台旋转速度和移动距离，电动开启关闭上法兰。 ·可以设定升温曲线（升温，恒温，降温） ·通过PC机可以控制机械泵和分子泵，并显示分子泵转速 ·可自动显示记录，温度，真空度，流量，等参数曲线 ·可存储10条自定义配方工艺随时调用。
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| 真空系统（选配） | · 配套机械泵，真空度可以达到10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor
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| 水冷机（选配） | · 型号：CW-6300 · 工作电压：AC 220V 50HZ · 工作电流：3.4-21A，制冷量：27808Btu/h · 压缩机功率：300W，水箱容量：45L · 最大流量：70-116L/min，净重：165 Kg
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| 产品尺寸 | 外形尺寸：1450X1250X2100mm（长*宽*高）
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| 重量 | 约640kg |
| 保质期 | 1年（不包含红外灯管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件） |
使用注意事项 | · 石英管内气压不可高于0.02MPa； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀， 为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减 压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要 关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa， 必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用 易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有 毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
