高速自动化学机械抛光机(CMP,300mm底盘,配自动送料器)
型号:
UNIPOL-1203
产品概述:
UNIPOL-1203化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称型号

·化学机械磨抛机 UNIPOL-1203


特点

·超平不锈钢抛光盘(平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm)。

·超精旋转轴(托盘端跳小于0.01mm)。

·设有两个加工工位,可分别进行控制。

·配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。

·配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。

·配置GPC-100A精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。

·研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。


磨抛主机基本参数

·设备供电端口:AC220V 50Hz

·总功率:500W(MAX)

·磨抛盘直径:Φ300 mm 铸铁花盘、不锈钢平盘各1个

·载样盘直径:Φ105 陶瓷平板载样盘、陶瓷修盘环各1个

·工位数:2位

·主驱动电机:精密伺服电机 0.45KW

·摆臂驱动电机:直流减速电机 DC24V 0.8W

·下磨抛盘转速:1-240rpm(速度可调)

·摆臂速度档位:1-15挡可调

·控制方式:触摸屏

·设备外形尺寸:L550×W700×H420mm

·净重:≈82Kg


GPC-100A 精密磨抛控制仪(机械手)

·载样盘直径:Ø103mm

·载样盘轴向行程:12mm

·数显表精度:0.001mm

·载样盘可调加载压力:0.1kg-2.0kg

·压力确认仪有效量程:1-5000g

·样品装卡方式:真空吸附

·承载样件尺寸:直径≤103mm、厚度≤12mm

·外形尺寸: 外径Φ146mm,高266mm


SKZD-2 滴料器(滚桶搅拌)

·设备供电端口:DC12 2A (标配电源适配器 IN:AC100-240V OUT:DC12V 2A)

·滴液工位(滴液泵):4个(1-4位转换滴液)

·料液瓶容积:500ml/瓶

·驱动控制方式:精密步进电机+蠕动泵+单板机控制器

·滴液方式:蠕动定量滴液

·流量:0.1ml/min-10ml/min(速度可调)

·运行方式:定时运行:范围:1-999min

·外形尺寸:L230×W370×H450mm


AP-1400V 无油真空泵

·设备供电端口:AC220V 50Hz 450W

·气流量max:7.2m³/h

·真空度max:-700mmHg(-91KPa)

·噪音:≤60db

·热保护器:自动复位 130℃±5℃

·外形尺寸:L204×W125×H181mm


应用提示

·设备供电为国标单相交流 220V 50Hz,实际供电参数以产品后部粘贴标牌为准。

·可按用户要求定制各种磨抛盘,特殊载样盘、卡具,专用零部件等


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