1200℃双炉氢化物气相外延系统(HVPE)
型号:
OTF-1200X-S-D φ80mm
产品概述:
OTF-1200X-S-D是一款小型双温区连体式可开启管式炉,其最高工作温度可达1200℃,此款管式炉的炉管为高纯石英管,其直径为80mm。配有一套不锈钢密封法兰,样品可在真空状态或气氛保护状态下进行热处理。管式炉拥有两个加热长度为200mm的加热区,两个温控系统分别独立控制两个温区,都可设置50段升温程序,控温精度为±1℃。(图片仅供参考,请以实物为准)
免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

1200℃双炉氢化物气相外延系统(HVPE) OTF-1200X-S-D φ80mm

双体小型管式炉

· 设备由两台单温区管式炉组成

· 工作温度:1200℃(<30min) 

· 连续工作温度:1100℃

· 建议加热速率:≦10℃/min

· 加热区长度:400mm(每台炉子温度长度200mm) 

· 加热元件:电阻丝

· 电压:AC 220V 50Hz 

· 功率:3KW

· 热电偶:K型


炉管

· 炉管材质:高纯石英管

· 炉管尺寸:φ80*1200mm

· 为了保证温场均匀性和法兰的密封性,仪器使用升温前需要在炉管两端塞入氧化铝管堵,防止热量的散失


不锈钢密封系统

· 一对φ80mm的不锈钢密封法兰安装在炉管两端,采用硅胶O型圈密封

· 左端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口,一个不锈钢针阀控制进气的通断,安装了一个量程为0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力;

· 右端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口,法兰内部进气口的位置安装了一个进气管,进气管延伸到左侧炉体的中间位置(炉管右侧管堵带有圆形通孔,方便进气管通入);

  一个φ8mm的宝塔嘴接头为出气口,一个不锈钢针阀控制出气的通断;一个KF25接口通过不锈钢波纹管与冷阱连接,冷阱另一端与真空系统相连。

· 炉管漏出炉体部分安装有防爆箱,保证了实验的安全性

图片1.png 图片2.png  

温控系统

· 包含两个858P型温度控制器;

· PID自动控温系统;

· 智能化50段可编程控制;

· 内置过热保护和热电偶故障报警;

· 控温精度:±1℃;

· 默认DB9 PC通信连接端口;

· 通过MET认证;

· 可选购电脑温度控制软件(用于858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据;

图片3.png 

冷阱

· 真空泵前端可选配安装一个冷阱,用于收集熔炼过程中的挥发物质

· 装置的外壳及内部均采用304不锈钢材质并做了抛光处理,具有抗腐蚀、易清洗、无污染且耐用的特点

· 冷阱改采用透明丙烯酸材料,方便观察

· 真空接口(可选):KF-25,KF-40

· 真空度:5*10-4torr

· 内部冷却剂容器尺寸:φ160*195mm

· 外部气体室罐体尺寸:φ215*210mm

图片4.png 

气体探测器

· 备有一套氢气探测器在此系统中,为固定式,安装在固定支架上面,可以实时监测设备氢气的泄漏情况;

· 氢气监测范围:1-1000ppm

· 工作温度:-20℃——60℃

· 报警点设置:氢气报警器设置有两个报警,第一级的报警点50ppm,一旦探测到氢气浓度达到此值时,氢气报警器将发出蜂鸣报警声,提醒客户检查漏气点。

  第二级的报警点为100ppm,一旦探测到氢气浓度到达此值时,系统自动关闭氢气进气阀。

图片5.png

真空系统(选配)

· 型号:VRD-8

· 抽气速率:2.2 L/S

· 电机功率:370 W

· 极限压强:5×10-1Pa(不带负载)

· 实际压强:≤5 Pa(带上炉管和密封法兰,冷态下机械泵抽20分钟)

· 如果想要获得更高的真空度(10-5torr或更高)可选购国产或进口高真空机组

多种真空系统可选.jpg

设备外形尺寸

· 设备主体:1550mm(L)*450mm(W)*450mm(H)

· 控制柜:370mm(L)*250mm(W)*425mm(H)

图片6.png 

重量

·约95KG


质保

一年质保期,终生维护

· 特别提示:

 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内



使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压);

· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,

 建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,

 则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。

 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。


免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
附件

Copyright © 2019 合肥科晶材料技术有限公司 版权所有 皖ICP备09007391号-1     皖公网安备 34012302000974号

在线产品展示

设备销售咨询

晶体销售咨询

售后咨询