设备名称型号 | 1200℃双炉氢化物气相外延系统(HVPE) OTF-1200X-S-D φ80mm |
双体小型管式炉 | · 设备由两台单温区管式炉组成 · 工作温度:1200℃(<30min) · 连续工作温度:1100℃ · 建议加热速率:≦10℃/min · 加热区长度:400mm(每台炉子温度长度200mm) · 加热元件:电阻丝 · 电压:AC 220V 50Hz · 功率:3KW · 热电偶:K型 |
炉管 | · 炉管材质:高纯石英管 · 炉管尺寸:φ80*1200mm · 为了保证温场均匀性和法兰的密封性,仪器使用升温前需要在炉管两端塞入氧化铝管堵,防止热量的散失 |
不锈钢密封系统 | · 一对φ80mm的不锈钢密封法兰安装在炉管两端,采用硅胶O型圈密封 · 左端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口,一个不锈钢针阀控制进气的通断,安装了一个量程为0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力; · 右端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口,法兰内部进气口的位置安装了一个进气管,进气管延伸到左侧炉体的中间位置(炉管右侧管堵带有圆形通孔,方便进气管通入); 一个φ8mm的宝塔嘴接头为出气口,一个不锈钢针阀控制出气的通断;一个KF25接口通过不锈钢波纹管与冷阱连接,冷阱另一端与真空系统相连。 · 炉管漏出炉体部分安装有防爆箱,保证了实验的安全性 |
温控系统 | · 包含两个858P型温度控制器; · PID自动控温系统; · 智能化50段可编程控制; · 内置过热保护和热电偶故障报警; · 控温精度:±1℃; · 默认DB9 PC通信连接端口; · 通过MET认证; · 可选购电脑温度控制软件(用于858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据; |
冷阱 | · 真空泵前端可选配安装一个冷阱,用于收集熔炼过程中的挥发物质 · 装置的外壳及内部均采用304不锈钢材质并做了抛光处理,具有抗腐蚀、易清洗、无污染且耐用的特点 · 冷阱改采用透明丙烯酸材料,方便观察 · 真空接口(可选):KF-25,KF-40 · 真空度:5*10-4torr · 内部冷却剂容器尺寸:φ160*195mm · 外部气体室罐体尺寸:φ215*210mm |
气体探测器 | · 备有一套氢气探测器在此系统中,为固定式,安装在固定支架上面,可以实时监测设备氢气的泄漏情况; · 氢气监测范围:1-1000ppm · 工作温度:-20℃——60℃ · 报警点设置:氢气报警器设置有两个报警,第一级的报警点50ppm,一旦探测到氢气浓度达到此值时,氢气报警器将发出蜂鸣报警声,提醒客户检查漏气点。 第二级的报警点为100ppm,一旦探测到氢气浓度到达此值时,系统自动关闭氢气进气阀。 |
真空系统(选配) | · 型号:VRD-8 · 抽气速率:2.2 L/S · 电机功率:370 W · 极限压强:5×10-1Pa(不带负载) · 实际压强:≤5 Pa(带上炉管和密封法兰,冷态下机械泵抽20分钟) · 如果想要获得更高的真空度(10-5torr或更高)可选购国产或进口高真空机组 |
设备外形尺寸 | · 设备主体:1550mm(L)*450mm(W)*450mm(H) · 控制柜:370mm(L)*250mm(W)*425mm(H) |
重量 | ·约95KG |
质保 | 一年质保期,终生维护 · 特别提示: 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压); · 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa, 建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全; · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热, 则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。 |