| 设备名称与型号 | 分体式蒸发镀膜仪（可放入手套箱） GSL-1700X-SPC-2 |
| 产品特点 | · φ6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品 · 安装有一个2英寸的样品台，且样品台可旋转，使所制薄膜更加均匀 · 样品台与蒸发源之间的距离可调 |
| 基本参数 | · 电源：110V，50/60HZ · 功率：＜800W · 最高加热温度：≤1500℃ |
| 真空腔室 | · 材质：高纯石英 · 尺寸：外径φ166*内径φ150*L250mm · 密封法兰: 采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封 · 一个快速挡板安装在法兰上 · 一个φ175*267mm不锈钢网罩住整个石英腔体 · 真空度：≤7.5×10-3 Torr （采用双极旋片真空泵）, ≤5×10-3 Pa（采用涡旋分子泵）
|
| 基片台 | · 基片台尺寸：φ2″ · 可放入基片最大尺寸：φ50mm · 基片台旋转速度：5rpm/min · 基片台与蒸发源之间距离：30-80mm（可调）
|
| 温控及加热源 | · 采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，便于温度测量和控住 · 采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃）； · 控温方式：手动控温和程序控温（通过“手动/自动切换开关”切换） · 手动控温：通过旋转面板上的电流调节旋钮调节电流值，从而调节温度 · 程序控温：安装了一个温控仪表，可设置30段升降温程序，控温精度为±1℃,在触摸屏上设置升降问程序，控制加热。 · 温度控制器的时间设置以分钟为单位，建议将升温/降温速率限制在2秒0.5℃/s左右，低温下使用时建议升温速率≤5℃/ min
|
| 气氛 | · 法兰盖上有一个φ6.35mm的进气口，可向真空腔室中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜 · 法兰上含有一个旋钮式的放气阀 · 设备主体左侧有一个KF25接口，接口上安装了一个不锈钢三通，三通的KF16接口安装了一个数显真空计，三通的KF25接口通过波纹管与真空系统连接 |
| 馈通 | · 标配两个卡箍转接头连接在手套箱外部的接头上，一个用于用于连接真空泵，一个用于连接镀膜仪的馈通组件
|
| 手套箱（选配） | · 尺寸：约2450mm（长）×1870mm（高；含支架）×840mm（宽） · 材质：不锈钢结构﹝Type 304﹞， 厚度3mm ； · 手套：手套口8英寸，厚度0.4mm丁基〔butyl〕手套，聚四氟材料手套口（防腐蚀）,口径220mm； · 窗口：倾斜设计的操作面，可开启式璃板前窗口，方便大件实验设备的取放，耐磨、抗腐蚀、透光性好、密封圈采用硅胶密封圈。前窗口为可开启式； · 箱体不可抽真空； · 箱体配置有防反射的照明节能灯，光线柔和； · 箱体内设有多孔电源接线板一个（电源：220V±10% 50Hz±10%）； · 箱体可设置5个标准KF-40接口，以便于接入液体、气体馈通 |
| 真空系统（选配） | · 型号：VRD-8 · 电源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：2.2L/s · 抽气口：KF25接口
|
| 仪器外观尺寸 | · 蒸镀部分外形尺寸 ：330*260*600mm · 加热控制系统外形尺寸：550*400*340mm
|
| 净重 | ·约50kg |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损失不在保修范围内。 |
注意事项 | · 蒸镀电流不宜大于25A。 · 蒸镀仪在工作中严禁旋开试样室充气阀充气、关闭真空泵。 · 蒸镀仪最高工作温度不得超过1500℃（长时间工作温度） · 如误将控温仪表设为手动状态，程序将不能正常运行。 · 此设备仪表程序时间为秒，200℃之前升温速度不宜大于5度/分钟，整体升温速率大约在2秒每度。 · 钨丝蓝必须在真空状态下（＜5Pa）才能通电加热，否则会被氧化。 |
查看诚信档案
皖公网安备 34012302000974号
