| 设备名称型号 | ·1100℃&6英寸CVD系统（钛合金法兰、防腐型） GSL-1100X-6-3Z |
| 高温炉参数 | · 电源：AC 380V 50HZ · 功率：17.5KW · 最高加热温度：1100℃（＜1h） · 长期使用温度：1000℃ · 推荐升温速率：≤10℃ · 加热区长度：900mm · 加热元件：电阻丝 · 热电偶：双K型（其中一个为巡检仪表） 温控系统： · 包含一款858型温度控制器； · PID自动控温系统； · 智能化50段可编程控制； · 控温精度：±1℃； · 默认DB9 PC通信连接端口； · 通过MET认证； · 可选购电脑温度控制软件(用于858系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据；
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| 炉管 | · 炉管材质：高纯石英管 · 尺寸：ф6英寸*1320mm · 设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端（保证恒温区和密封圈的密封性） |
| 密封法兰 | · 一对钛合金水冷法兰安装在炉管两端，采用氟胶O型圈密封 左侧法兰： · 安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表，用于观察炉管内的压力 · 两个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用，分别通过一个不锈钢针阀控制进气的通断 · 其中一个进气口与气液混合罐的出气口连接，连接管道包裹了加热带，另一个进气口与供气系统背面的混气出气口1连接。 右侧法兰： · 一个铠装接口可用于插入测温热电偶，测量样品温度 · 一个φ6.35mm的卡套接头为出气口，一个不锈钢针阀控制出气的通断，一个KF25的接口连接了一个KF25转KF16的转接头，KF16接口上安装了电阻规。 安装了一个安全泄压阀，当炉管内气压达到上限压力时，安全阀自动打开排气。 · 另一个KF25接口安装了一个不锈钢三通，三通上的KF25接口为抽气口，与收集罐组件连接在一起。 · 三通的KF16接口上安装了一个球阀组件，组件顶部安装了一根螺纹式的排气管。 |
| 气液混合加热装置 | · 容量:300ml · 材质：钛合金 · 最大压力：0.15MPa · 最高加热温度：150℃ · 气液混合罐的进气口连接供气系统的出气口2 · 气液混合罐加热装置采用 PID 方式调节温度，可设置50 段升温程序，控温精度+/-1ºC。 · 温控盒上的两个温控仪表分别控制气液混合罐与加热带的加热。 |
| 供气系统 | · 型号：GSL-3Z-LCD · 流量范围： 一路：1-100CSSM 二路：1-200CSSM 三路：1-500CSSM · 最大压力：3*106Pa · 精度：±1.5% FS · 重复精度：±0.2% FS · 工作温度：5-45℃
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| 真空系统 | · 电源：AC 220V 50/60HZ · 功率：1KW · 抽气速率：3L/S · 极限真空度：1.0*10-1Pa（不带负载） 电阻真空计： · 电源：AC 220V 50HZ · 功率：≤6W · 测量范围：1.0*10-1Pa~1.0*105Pa · 有效范围：1.0*100Pa~1.0*104Pa · 测量环境：非腐蚀性密封容器 · 测量精度：＜±30% · 显示方式：LCD数显 · 配接硅管：ZJ-52T/KF16 · 面板尺寸：96*96 mm · 真空计配套的规管只能测量空气和氮气，有其他气体成分比例较大的场合需另外修正。
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| 过滤桶组件 | · 两个过滤器之间通过波纹管串联在一起。过滤器尺寸：φ200*300mm，过滤桶内装有过滤介质，右侧过滤桶的另一个KF25接口与真空系统连接 · 真空系统的抽气口顶部安装了一个粉尘过滤器，过滤器参数如下: · 连接口径：KF25 · 材质：304不锈钢 · 滤芯寿命：2000-4000H（可定期用压缩气体吹扫） · 流量：≥8L/S · 过滤精度：≤5um · 使用压力范围：1Pa~大气压（压力小于1Pa后会面线影响气体流速）
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| 水冷设备（选配） | · 型号：CW-5000 · 压缩机功率：0.3KW · 水流速率：16L/min · 水箱容量：6L · 温度控制：5-30℃ |
| 设备外形尺寸 | ·2600mm（L）*800mm（W）*2100mm（H） |
| 重量 | ·约380KG |
| 质保 | ·一年质保期，终生维护 · 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、炉管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa， 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数， · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
