| 设备名称型号 | ·1200℃超声雾化PECVD系统（超声频率40KHZ） OTF-1200X-II-PECVD-PGEP |
| 高温炉参数 | ·电源：AC 220V 50HZ ·功率：3KW ·最高温度：1200℃（＜1h） ·连续工作温度：1100℃ ·推荐升温速率：≤10℃/min ·热电偶：K型 ·加热元件：电阻丝 ·加热区长度：400mm 温控系统： ·两个温区分别有两个独立的温控系统控制 ·包含两个YD858P型温度控制器 ·PID自动控温系统 ·智能化50段可编程控制 ·控温精度：±1℃ ·默认DB9 PC通信连接端口 ·通过MET认证 ·可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
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| 炉管和法兰 | ·标配一根φ100*1400mm的石英管 ·一对不锈钢密封法兰安装在炉管两端，采用硅胶O型圈密封 ·左端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为进气口，一个不锈钢针阀控制进气的通断；安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力；一个KF25的接口与雾化喷头连接 ·右端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接头为出气口，一个不锈钢针阀控制出气的通断；安装了一个安全泄压阀，当腔室内气压达到上限压力时，安全阀自动打开排气；一个KF25接口安装了一个KF25-KF16-KF25的不锈钢三通，KF25接口与收集罐连接，KF16接口上安装了电阻规 ·设备两端安装有支撑架支撑法兰，炉管漏出炉体部分安装了不锈钢防护网 |
| 超声雾化装置 | ·两种超声波雾化器可供选择
第一款超声波雾化器参数如下： ·电源：单相AC 220V/50HZ 1A ·最大功率：130W ·频率：40khz±10% ·超声波换能器：PZT（压电陶瓷） ·超声波换能器接口尺寸：KF25 ·有尖头喷头和蘑菇喷头两种喷头（标配一个KF-25的不锈钢卡箍）
·两个雾化头的喷雾形状不一样，蘑菇头是分散，尖头是聚拢的，但产生的雾化颗粒直径大小一样 ·喷头材料：由钛合金制成 ·喷雾速度：0.1-10ml/min ·流体粘度范围：≤20 cps ·可根据要求提供定制的喷嘴形状，但需额外付费 第二款超声波雾化器参数如下： ·220 VAC ，1.7 MHz ·液体罐标配为316不锈钢材质（PTFE及其它材质的罐子可以与销售联系进行定制），并采用氟胶密封圈密封 ·罐盖上设有一个进气口和一个出雾口，进气口通过聚四氟管与气瓶相连，出雾口通过水管连接到设备内部 ·可设置1-3档雾化量，通过调节档位大小，控制雾化量的多少 ·可实现连续运行雾化和定时运行雾化两种功能。定时时间从30分钟到180分钟可调 ·雾化片尺寸：1.2mm×φ20 |
| 蠕动泵 | ·型号：BT100FJ ·流量: 0.051 - 51ml/minute （可调） ·转速：0.1-100 rpm（可调） ·回吸速度：10-300rpm ·外形尺寸：160*300*170mm（长*宽*高）
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| 收集装置 | ·含有两个KF25接口，一个接口与右端法兰相连接，一个接口通过不锈钢波纹管与真空泵相连 ·含有一个外径φ12mm出气口，通过快速接口连接出气软管，当设备抽真空时，软管需用快插接头堵住 ·收料筒最大容积700ml，有效容积150ml ·一个φ35mm的石英观察窗口用于观察桶内收集物料的情况
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| 高压电源 | ·功率：30W ·电压：0-30KV ,正常工作电压≤15KV ·电流：≤1mA ·电压电流指示：额定输出电压下精度为1% |
| 射频电源 | ·功率输出范围：0-500W ·功率稳定度：≤±5W ·射频频率：13.56MHZ ·自动匹配 ·噪音：≤50dB ·冷却方式：风冷
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| 供气系统 | ·型号：GSL-6Z-LCD ·质量流量控制器：500SCCM、5000SCCM（其余两路为备用气路） ·精度：±1.5%FS ·最大压力0.3MPa ·内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管 ·内置不锈钢混气罐
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| 真空系统 | ·机械泵型号：TRP-12 ·电源：AC220V/50Hz ·功率：0.55KW ·极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） ·抽气速率：3L/s ·抽气口：KF25接口 ·可选配真空度更高的系统
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| 设备外形尺寸 | ·2500mm（L）*750mm（W）*1250mm（H）
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| 重量 | ·约290KG |
| 质保 | ·一年质保期，终生维护 ·特别提示： 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
注意事项 | ·石英管内气压不可高于0.02MPa（相对气压） ·由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） ·我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责 |
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皖公网安备 34012302000974号
