| 立式管式炉 | ·双层壳体结构，并且带有风冷系统 ·80mm外径氧化铝管，带有真空密封结构，旋转和提拉机构 ·采用MoSi2作为加热元件，最高温度可达1700℃ ·电压：208-240VAC，单相，50/60Hz ·功率：最大4KW |
| 氧化铝管和法兰 | ·高纯氧化铝管：外径80mm×内径70mm×长度1000mm ·顶部法兰：水冷法兰，安装有针阀和KF25接口，用于接旋转机构和提拉机构 ·底部法兰：法兰上安装有不锈钢针阀，KF25接口，用于连接真空泵 ·工作气体：惰性气体，CO2，和氧气，最大气压可达0.2MPa
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| 提拉机构 | ·提拉机构驱动，采用伺服电机 ·提拉速度：0.4-15mm/hr ·提拉杆旋转速度：0.1-23RPM ·提拉行程：0-260mm ·最快提拉速度：35mm/min
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| PVT法 | ·原材料通过底部法兰（法兰上安装有氧化铝棒）推进到炉管内 （设备中不包含坩埚，可在本公司选购各种坩埚） ·籽晶（基底）将固定在顶部提拉杆上 ·籽晶与原料坩埚开始保持一个距离，然后设备加热，晶体生长，籽晶慢慢上移 ·工作气体：惰性气体，CO2，和氧气，最大气压可达0.2MPa |
| 布里奇曼法 | ·原材料放入到一个底部V型的坩埚中 ·坩埚悬挂在提拉杆上 ·在炉体加热过程中坩埚旋转和上移来实现晶体生长 |
| 温控系统 | ·采用欧陆（Eurotherm）温控仪表，控温精度+/-0.1℃ ·可设置28段升降温程序，采用PID方式控制温度
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| 真空泵&真空度 | ·采用机械泵，真空度10E-2Torr（图1） ·采用分子泵系统，真空度10E-5Torr(图2） ·真空泵标准设备中不包含，需要额外购买 ·对于氧敏感性材料，建议使用循环系统（H2O,O2<1PPM）代替分子泵系统
图1 图2 图3 |
| 循环水冷机 （可选） | ·可选循环水冷机，用于水冷法兰，保证设备密封性 |
| 设备重量&尺寸 | ·重量：105kg ·尺寸：L×W×H: 860 mm×740 mm×2160 mm |
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皖公网安备 34012302000974号
