| 名称型号 | ·1200℃五温区液相外延法晶体生长炉（针对YIG薄膜，LPE法） VTF-1200X-LPE |
| 产品特点 | ·控制系统采用触控一体机控制 ·采用双层壳体结构，并带有风冷系统。 ·炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。 ·该设备采用模块化设计，分上中下三部分可以拆开运输，方便进入实验室和运输。 ·电动升降样品台,便于客户取放样品和二次加料 ·多片式石英管堵，提高洁净度 ·带有石英的隔离内腔
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| 加热炉系统 | ·电压：三相 AC380 50/60Hz ·最高温度: 1200℃ (<30min) ·加热炉最大功率：17KW ·额定温度: 1100℃ ·推荐升温速率：≤10℃/min ·加热区长度：五个温区1000mm(5*200mm)，每个温区独立控制 ·控温精度：±1℃ ·热电偶：五根K型热电偶 ·加热元件：康泰尔电阻丝
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| 温控系统 | ·采用触摸屏+温控器模式 ·包含一款欧陆EPC3000系列控制器 ·PID自动控温系统 ·智能化24段可编程控制 ·默认DB9 PC通讯连接端口 ·控温精度：±1℃ ·所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试
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| 提拉机构 | ·采用伺服电机+谐波减速器来驱动籽晶杆上下移动 ·私服电机+高精度直线模组保证籽晶杆在移动过程中顺滑 ·籽晶杆移动有慢速提拉和快速移动两种模式 ·籽晶杆可移动范围：750mm ·提拉速度范围：0.02mm/hr--10mm/hr(可调，精度+/-1um) ·籽晶杆旋转速度：1-60RPM ·籽晶杆装到三抓夹头上，三抓夹上方装有弹簧可以调节籽晶杆旋转时同心度
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| 触摸屏控制 | ·触摸屏控制面板可控制单晶提拉速度，籽晶杆旋转速度和加热炉的升温曲线 ·触摸屏控制面板可以控制样品台升降 ·具有温度曲线保存功能，温度曲线数据可以保存记录和导出
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| 法兰，管子，样品台 | ·炉膛内装有一根外径150*1175mmm石英管 ·石英管通过上下法兰固定，不锈钢法兰为非密封的（注：法兰主要作用是支撑石英管） ·炉膛上部通过石英管堵保温，下部通过泡沫陶瓷管堵保温 ·下法兰装有支撑杆和样品台 ·样品台可放置最大坩埚直径100mm ·样品台和坩埚采用电动升降方式，方便取放样 ·下法兰和固定板之装有四个弹簧，可以调节下法兰水平
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| 产品尺寸 | ·外形尺寸：1020*1185*3420mm（长*宽*高） ·下部外形尺寸：1020*1185*800mm（长*宽*高） ·中部外形尺寸：1020*1185*1300mm（长*宽*高） ·上部外形尺寸：1020*1185*1320mm（长*宽*高）
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| 重量 | ·约290kg |
| 保质期 | ·1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件） |
| 操作展示视频 |
操作展示视频 |
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皖公网安备 34012302000974号
