| 规格型号 | ·1200℃六通道高洁净氢气炉 GSL-1200X-MGI-6-H2 |
| 产品特点 | ·采用不锈钢腔体包裹保温材料，保证炉内较高洁净度 ·炉管和腔体夹层内（保温层）通入惰性气体，在使用氢气时如果炉管破裂氢气逃逸到夹层内，不会产生爆炸，使用氢气时设备更加安全 ·可同时放入6个样品，在不同温度下进行热处理 ·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，表面涂有氧化铝涂层，可提高炉膛加热效率，延长炉膛使用寿命。 ·双层壳体结构，并带有风冷系统，可保证壳体表面温度较低。 ·可选配装压力传感器和电磁泄压阀，具备自动恒、压超压泄压功能，确保设备更加安全
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| 应用背景 | ·在清洁室内热处理半导体元件（氢气气氛）
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| 加热炉基本参数 | · 电源电压 AC三相380V 50/60HZ， · 最大功率:48KW · 最高温度1200℃（≤30min） · 长期工作温度：1100℃ · 控温热电偶:K型 · 加热区长度700mm · 升温速率：≤10℃/min · 加热元件：掺钼铁铬铝电阻丝
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| 温控系统 | · 温控模块+PC机控制方式，标配一套控温软件 · 六个通道独立控温,可以一键六个通道升温或停止，单个通道也可以单独控制。 · 包含一款858P 型温度控制器（也可以选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃） · PID自动控温系统。 · 智能化50段可编程控制。 · 默认DB9 PC通讯连接端口。 · 控温精度：±1℃。 · 所有的电气元件都通过UL或MET认可，并可通过世界范围内的其他相关安全测试
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| 不锈钢密封法兰系统 | ·六套水冷法兰，材质：304不锈钢 ·密封方式：采用法兰压紧O型圈方式 ·前端法兰采用KF60卡箍形式方便取放样品，装有机械压力表，截止阀，G1/4进气口 ·后端法兰留有KF25抽气口，出气口和截止阀 · 每个通道有独立的进气和出气口，可实现真空和气氛下烧结制备
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| 供气系统 | ·标配有6个独立的进气口，通过6个40-400ml/min浮子流量计进行气流量调节，从左边出气然后和法兰进气口连接。如下图 ·如果需要更精确流量，请选择质量流量控制器供气系统
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| 控制系统 | ·通过PC机可以设置升--恒--降温曲线 ·腔体内压力，真空度，温度都可以在PC机上实时显示 ·通过软件可以设置管式炉的清洗模式：手动清洗和自动清洗， 自动模式为真空泵和进气系统自动切换工作，可设定清洗次数 ·通过软件设置恒压烧结模式：在加热炉升温的过程中，选择恒压模式，控制系统自动调节进气和出气量，使加热炉在升温的过程中保持在微正压的状态。（恒压范围100000pa-115000pa） ·实验数据可以进行保存，记录，下载，也可以生成工艺曲线保存，下次实验时调取
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| 过压保护 | 两种过压保护措施： ·可选配电子压力变送器，设定排气压力，高于排气压力，排气阀打开加速泄气； ·标配安装过压机械排气阀，设定开启压力（0.04mpa） ·可选装气体报警器，检测到危险气体浓度过高可以自动切断气源 ·可选装与摄像头手机等联动，实现智慧实验室管理。 |
| 炉管 | ·高纯石英管尺寸： ·25 O.D x 19 I.D x 1200 L (mm) ·50 O.D x 44 I.D x 1200L (mm) ·60 O.D x 55 I.D x 1200 L (mm) ·为了获得更高的工作温度，可选用镍基合金管，温度可达1200℃ ·也可以选择锆合金管，耐碱性腐蚀，长期使用800℃
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| 可燃尾气处理装置（选配） | 如在氢气环境下处理样品可以选择氢气尾气处理装置参数如下： ·可适用多种可燃气体的尾气处理（制定气体需提前和销售沟通） ·体积小，安装方便，操作简单 ·内部有电流互感器，检测到电阻丝没有加热时，切断进气和出气 ·电源：AC单相220V 50/60Hz ·功率：200W ·两路进气口，惰性气体进气口（接气源）和氢气进气口（接气源），进气为G1/4双卡套接口 另外可选高通量版本，进出气口数量可定制 ·气源接入后通过浮子流量计（浮子流量计量程0.1-1L/min）调节流量大小，通过G1/4双卡套接头输出后接入管式炉进气口 ·可燃气体从管式炉内输出后接入该设备可燃气体进气口，接口为G1/4双卡套接口 ·点火装置：采用进口电阻丝加热点火，表面涂有氧化铝涂层，减缓电阻丝氧化，装有电流互感器，可以检测电阻丝是否加热。 ·点火异常切断进气和出气，以及加热炉接触器（接口预留，加热炉进行简单改造） ·可外接氢气浓度报警器，检测到氢气浓度报警自动切断进气及点火（接口预留），报警器选配
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| 氢气探测器（选配） | · 有两套氢气探测器可供选择： 一套为固定式，安装在固定支架上面，可以实时监测设备氢气的泄漏情况； 一套为便携式，可以随时对设备各个接口进行监测。 · 氢气监测范围：1-1000ppm · 工作温度：-20℃——60℃ · 报警点设置：氢气报警器设置有两个报警 第一级的报警点50ppm，一旦探测到氢气浓度达到此值时，氢气报警器将发出蜂鸣报警声，提醒客户检查泄露点。 第二级的报警点为100ppm，一旦探测到氢气浓度到达此值时，系统自动关闭氢气进气阀。
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| 真空度（选配） | · 标配机械泵，三相VRD-36,真空度可以达到10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor
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| 冷水机（选配） | · 型号：CW-6300 · 电源：AC220V 50HZ · 功率：3.5KW · 工作电流：3.4~18.1A · 制冷量：26826 Btu/h · 水箱容量：40L · 出入水口： Rp1" · 泵最大水流速度：75L/min
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| 外型尺寸 | ·炉体长宽高：1875*1800*1400mm ·电气柜长宽高：750*600*6800
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| 重量 | ·重量约:950KG |
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皖公网安备 34012302000974号
