| 材质 | 304不锈钢 |
| 结构 | ·外径为152mm的通孔法兰 ·25mm的通孔法兰，16个无螺纹螺栓孔，螺栓孔直径8.3mm。(请点击图1和图2了解详细信息) ·内径19mm,外径25mm的高真空接头安装在法兰中间，用于安装标准的溅射装置（详细信息请点击图3和图4）
图1 图2 图3 图4 |
| 真空度 | 10 -6 torr（分子泵） |
| 使用方法 | ·将带有内径19mm管的溅射头穿过CF法兰上的高真空接头； ·调整溅射头在真空室中的高度； ·不需要特殊工具或焊接，快速拧紧连接就可以固定溅射装置的位置； ·在10分钟内，便可完成安装。
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皖公网安备 34012302000974号
