产品特点 | 手套箱前窗门设计为开启式,便于放入设备 带有一下沉式储藏箱(Φ315mm×440mm),可放入仪器(如旋涂仪),而不占用手套箱主仓空间 有循环净化系统,可是手套箱内H2O & O2<0.1ppm 可选配过度藏加热,最高温度可达200℃ |
电源要求 | 110VAC 或 220VAC, 50/60Hz, 单相 功率:5.5KW |
手套箱腔体 | 腔体材料:304不锈钢,厚度3mm 前窗开启式设计,材料为透明钢化安全玻璃,厚度8mm 腔体为2接,每节腔体尺寸为1220mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H),总尺寸为 2440mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H) 每节手套箱腔体顶部都安装有滑动物料板:300mmL×250mmW×300mmH 接口:每节箱体后侧有4个KF40接口,共8个KF40接口 净化系统确保手套箱内O2和H2O含量小于0.1PPM 自动净化和再生功能可快速移出水和氧 手套箱腔体底部安装有下沉式储藏箱,可放入仪器(如旋涂仪),而不占用手套箱主仓空间 尺寸:Φ314mm(内径)×455mm(其他尺寸可定制),可放入本公司旋涂仪 下沉式储藏箱背面有1组KF40接口,可对接馈通,用于仪器主机与手套箱外的控制柜、真空泵和电源对接,不破坏手套箱内部环境 下沉式储存箱顶盖上有一隐形把手,便于用户在手套箱内打开顶盖 |
旋转涂层机 | · 旋涂涂层壳体和旋转盘采用聚丙烯(PP)制作,具有防腐蚀性。旋转涂层机可放入到手套箱的下沉式储存箱中 · 控制盒和无油真空泵与旋转涂层机主机分开,可放在手套箱外,通过馈通与主机连接,便于操作 · 设备中标配一过滤器,安装与真空泵与主机之间,用于组织废液进入到真空泵里 · 腔体直径: 150 mm. · 真空吸盘: Φ100mm,最大可装载直径为6英寸样品 (如图1) · 如果样品直径 < 10 mm,可选购橡胶吸盘 ( 如图2) · 可用蓝带来固定不规则样品(如图3) · 转速: 500 - 8000 RPM(可程序设置6段转速,控制器位于手套箱外便于操作) |
产品升级(可选) | · 上盖加热,最高温度可加热到120℃,可式样品旋涂后进行干燥(如图1&2) · 可选购精密单通道注液器,量程;20-200ul(如图3) · 可用等离子清洗机,在涂覆前对基片进行等离子清洗,提高涂膜质量 |
手套箱过度仓加热(可选) | 可加热型过度仓:最高温度200℃,尺寸Φ385×588mm(L) 可选:手套箱两侧都有过度仓 |
产品尺寸 | 33115mm(L)×830mm(W)×1830mm(H) |
运输重量 | 约950kg |