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石英舟(可用于晶圆扩散处理1"-12"）
- 产品概述：
- 高纯度石英舟使用温度可高达1200℃
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 基本参数
|
石英舟是由超高纯度(4N纯度)制成的，用于扩散、氧化和退火，最高 1200℃。 每只能携带一个尺寸的晶圆,最多25片,直径从1"到12"，0.5毫米厚 尺寸 | 可放入炉子
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| | 1“ | OTF-1200X φ50
| 
带石英舟的1"晶圆片 | 
机械绘图 | 
带石英舟的1"晶圆片
可放入2"管 | 
将1"晶圆片置于炉中央 | | 2“ | OTF-1200X φ80 |
带石英舟的2"晶圆片 | 
2"石英舟横截面绘图(mm)-长度180mm | 
带石英舟的2"晶圆片
可放入3"管 | 
将2"晶圆片置于炉中央 | | 3“ | OTF-1200X φ100 |
带石英舟的3"晶圆片 | 
3"石英舟横截面绘图(mm)-长度180mm |
带石英舟的3"晶圆片
可放入4"管 |
将3"晶圆片置于炉中央 | | 4“ | OTF-1200X-5L |
带石英舟的4"晶圆片 | 
4"石英舟横截面绘图(mm)-长度180mm |
带石英舟的4"晶圆片
可放入5"管 |
将4"晶圆片置于炉中央 | 4"X4“
| OTF-1200X-5L
VBF-1200X-H8 | 
4"的晶圆片配有一艘石英舟 |
| 4"x4"方晶圆片(带石英舟) 可放入8"管内 |
将4"晶圆片置于炉中央 | | 6" | GSL-1100X-8.5-S
GSL-1100X-8.5-S-III VBF-1200X | 
6"石英舟的尺寸 |  |
带石英舟的6"晶圆片
可放入7"管内 | 
能放入VBF-1200炉中 | | 8" | GSL-1100X-11-III | 
8"石英舟的尺寸 | |
带石英舟的8"晶圆片
可放入8.5"管内 |
将8"晶圆片置于炉中央 | | 12" | OTF-1100X-III
| 
12"石英舟的尺寸 |  |
带石英舟的12"晶圆片
可放入15"管内 | 
将12"晶圆片置于炉中央
|
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| 注意事项
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·请在接受交货前检查包装是否损坏。 如果发现损坏，请保留所有包装材料，拍照，并立即向发货方报告。
·请注意，此产品属于易耗品，不在保修范围内。使用前，请检查清楚。
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