| 设备名称型号 | 恒压控制系统GZK-PID-VRD24 (科晶实验室、科晶技术部2022.6.15审核） |
| 产品特点 | · PLC、触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷。 · 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到精确的恒压控制 · 600*600的承重台面，可配合科晶其他设备使用，节省空间 |
| 真空泵 | · 型号:VRD-24 · 电源：220V 50/60HZ · 进气口：KF25 · 抽速：50HZ:6.6L/S 60HZ:7.9L/S · 功率：50HZ:1.1KW 60HZ:0.75KW · 极限真空：4*10-1Pa（不带负载） |
| 变频器 | · 输入：AC220V · 输出：3*AC380V |
| 数显防腐真空计 | · 型号：PGC-554 · 电源：DC24V · 测量范围：3.8E-5-1125torr
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| 操作面板 |
界面上带真空显示值和设定值，一键式操作，方便快捷 |
| 压力恒定控制范围 | 压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)： 760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm） 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm） 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10） ＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） |
| 外形尺寸 | 600*600*700mm
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| 重量 | 98KG |
| 保质期 | 1年（不包含炉管，硅胶O型圈和加热元件等损耗件） |
| 可选 | ·不锈钢高真空泵前级颗粒过滤器 FPTA-6-LD
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皖公网安备 34012302000974号
