| 设备名称 | 滑动式三温区管式炉PECVD系统 OTF-1200X-50-III-S-4CV-PE-SL |
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| 产品特点 | ·射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ·滑轨式可快速加热和快速冷却； ·三个加热区，温度梯度最大可达200℃ ·可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。 |
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| 加热炉参数 | ·电源：电压要求：AC 208-240V 单相, 50/60 Hz ·功率4.8KW ·最高温度：1200℃（小于0.5小时） ·连续工作温度：1100℃ ·加热区长度：600mm，（三温区：150mm+300mm+150mm) ·最大升温速率: ≤ 20 °C/min（加热元件寿命原因建议升温速率） ·炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
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| 温控系统 | ·包含一款858P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃） ·PID自动控温系统 ·智能化50段可编程控制 ·控温精度：±1℃ ·默认DB9 PC通信连接端口 ·RS485通讯接口 ·PC控制软件：可选购PC控温软件，可用电脑控制炉体和记录数据
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| 射频电源 |
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| 真空系统 | ·采用TRP-12的双旋真空泵； ·KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵； ·真空度可达10-2Torr。
·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度） ·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度） |
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| 供气系统 | ·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%） ·流量范围： 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ·电压：208-240V， AC， 50/60Hz； ·气体进出口配件：6.35mm的聚四氟管或不锈钢管； ·不锈钢针阀用于手动控制气体进出； ·PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置 注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下
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| 产品尺寸和重量 | ·设备总体尺寸：2500X750X1510mm(长宽高） ·净重：310kg
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| 注意 | 注意事项：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况） |
注意事项：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况）
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