| 名称型号 | 1100℃小型气氛控制RTP管式炉(130mm石英腔室) OTF-1200X-4-RTP-130 |
| 视频 |
操作视频 |
| 产品特点 | · 红外加热,最快升温速率50℃/S · 最大4英寸基片都可以放入退火 · 法兰安装在滑轨可以直接推拉，实现快速降温。 · 可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却
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| 加热炉系统 | · 输入电源 AC 380V 50HZ，最大功率：24KW · 最高工作温度：900℃（＜30min)，长期工作温度：800℃ · 控温热电偶：进口K型热电偶，紧贴在放样品ALN片下 （ALN片为标配，可按照客户要求定制不同材质基片） · 加热元件：红外灯管 12根短波红外灯管，每根2KW · 加热区尺寸：Ф210mm*320mm · 室温至900℃：建议升温速率10 ℃/s 最大升温速率50 ℃/s · 降温速率: 800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下，样品架在炉子内） 降温速率：800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min（在一个大气压下，样品架拉到炉体外） · 标配浮子流量计：16-160ml/min · 石英管 外径130mm x内径120mm x 600mm L · 包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃） · PID自动控温系统 · 智能化30段可编程控制 · 控温精度：±1℃ · 默认DB9 PC通信连接端口
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| 不锈钢密封法兰系统 | ·水冷密封法兰，密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。 ·左端法兰装有机械压力表和进气截止阀，左边炉体上留有进气口，进气时，气体通过浮子流量计后进入法兰进气口，然后进入炉管内。 ·左端法兰内侧有石英制隔热挡板。 ·右端法兰上装有出气截止阀，一个KF25接口用于抽真空，一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。 ·右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架，热电偶测温点位于样品正下方。 ·右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉，实现快速退火。
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| 水冷机（选配） | · 型号：KJ-5000 · 工作电压：AC 220V 50HZ · 工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h · 压缩机功率：300W，水箱容量：6L · 最大流量：16L/min，净重：24 Kg
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| 真空系统（选配） | · 配套机械泵，真空度可以达到10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以达到10-5 ttor
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| 产品尺寸 | 外形尺寸：1100*700*660mm（长*宽*高 法兰关闭） 外形尺寸：1400*700*660mm（长*宽*高 法兰打开） 外形尺寸：1100*700*950mm（长*宽*高 炉子打开，法兰打开）
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| 重量 | 约100kg |
| 保质期 | 1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件） |
| 使用注意事项 | · 石英管内气压不可高于0.02MPa； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa， 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数， 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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