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4英寸气体分散喷头（用于DIY ALD/CVD系统）
- 型号：
- SH-4
- 产品概述：
- SH-4是一款气体分散喷头，了将前驱气体非常均匀地传输到ALD或CVD腔体。此款产品非常适用到大尺寸基片上（最大4英寸），采用CVD法成膜。
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如果您需要下载产品的电子版技术文档，说明书（在线阅览），装箱单，与售后安装条件等文件，请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户，购买前请与工作人员沟通，以免给您带来不便。
技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 产品名称
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4英寸气体分散喷头-SH-4 （2020.12.05——科晶实验室审核） |
| 产品提示
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1.多种配件可选提示 2.科晶实验室邀请提示 3.配件妥善保管提示 |
| 技术参数
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·材料：顶部法兰为304不锈钢，底部喷头为铝合金 ·密封圈：硅胶密封圈 ·气管接口：外径14mm,内径6.35mm ·喷头孔径：Φ0.5mm ·喷头流道：特殊的流道设计，确保气体/蒸汽均匀的分散和传输
 
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| 外形参数
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| 认证
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若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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| 质保
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·一年保修，终身技术支持。
·特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 ·点击查看售后服务承诺书。
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