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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 技术参数
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Si掺杂类型： | N型不掺杂 | P型掺B | 电阻率： | >2000ohm.cm | 1-20 ohm.cm | 薄膜厚度： | SiO2=300nm TiO2=20nmPt(111)=150nm |
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| Maximum Thermal Budget of Pt film:
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<800-850 degreeC/1hr
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| 常规尺寸
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dia4"+/- 0.5 mmx0.525 单抛；10x10mm 注：可按照客户要求加工尺寸 |
| 标准包装
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1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
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