质量流量控制器
型号:
ZF-MFC-1C
产品概述:
ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器,结构小巧,操作方便,可用于气体流量的精确测量和控制,流量范围0~100,200,300,500SCCM可选,可与本公司管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用,直接数字设定流量,稳定可靠,操作方便。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
产品特点

·防腐型单路气体质子流量控制器,结构小巧


·DC15V电压驱动


·流量数显设定显示,稳定可靠,操作方便


·流量范围:0~100,200,300,500SCCM可选


·配备RS485计算机接口,同时可输出4~20mA信号,用于计算机与远程仪表的连接控制


·标配N2气标定


工作电源

·AC220V,50/60Hz,7.5W


·配备AC220V转DC15V电源适配器


流量范围

·0~100,200,300,500SCCM四种规格可选,特殊规格可定制

材质

·316不锈钢阀体,耐腐蚀

准确度

·±2%FS

控制精度

·±1%FS(恒流)

线性

·±2%FS

工作压差范围

·0.1~0.5MPa

最大工作压力

·0.5MPa

设定流量方式

·键入式

进出口阀门

·Φ6.35mm卡套式接头


工作环境温度

·-10~50℃

产品尺寸

·168mm L*30mm W*132mm H

产品重量

·0.92kg

质保期

·一年保质期,终生维护

使用注意事项

·ZF-MFC-1C可用于腐蚀性气体的流量测量与控制,如NH3等


·出厂时采用氮气(N2)标定,如通入其他气体时,需要对照说明书中不同气体流量转换系数表进行流量换算


·注意工作压差,使用时进出气两端工作压差在0.15~0.5MPa范围内


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