混气系统3路浮子
型号:
GSL-3F
产品概述:
这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
名称

混气系统3路浮子GSL-3F

浮子流量计

三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%


·A:10 - 100mL/min


·B:16 - 160mL/min


·C:25 - 250mL/min


机械压力表(混气罐)

·-0.1-0.15 Mpa

接头和气管

·在混气系统右侧安装三个气体进口


·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管(请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售)


·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一路混合气体和一路单独的气体)


·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头


真空针阀

·采用ss304不锈钢


·安装在混气系统的右侧


安装带刹车的转向轮

外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

可选

CVD或者PECVD            液相气体发生器

净重

约75 Kg

质保期

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书。


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