小型二通道混气系统
型号:
GSL-2Z-LCD-S
产品概述:
GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混气系统,PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线,可与本公司各种管式炉、CVD、PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精确控制。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称

• 小型二通道混气系统(质子流量计)GSL-2Z-LCD-S

基本参数

• 工作温度:5~45ºC  


• 最大压力:0.3MPa


• 精度: ±1.5% FS  


• 重复精度: ±0.2%F.S.


• 流量范围:
   一路:1-99   SCCM

二路:1-199  SCCM  (其他流量范围可定制)


• 注意:其他流量范围的可定制,需额外费用


输入电源

• AC 220V,50/60Hz

功率

• 100W

PLC触摸屏

• 各通道的气路设定和查看都集中在一触摸屏上

  


混气罐

• 内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气

机械压力表

• 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接


• 量程:-0.1~0.15 MPa


针阀

• 316 不锈钢

通气管道

• 内部连接管道为1/4”不锈钢管


• 外部通气管道为1/4”聚四氟管


外形尺寸

• 360 mm L x 300 D mm x 190 H mm


产品重量

• 8.4kg

质量认证

• CE认证

质保期

• 一年质保期,终身维护

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